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以活性炭為載體對(duì)吸附半導(dǎo)體煙道氣中含鹵素的有害污染物有效果

發(fā)布時(shí)間:2018/12/26

以活性炭為載體,載有3%-18%堿金屬甲酸鹽和(或)堿土金屬甲酸鹽,具有比表面積700-2500㎡/g,較可取的是1000-2500㎡/g和4-32目大小,以此吸附半導(dǎo)體煙道氣中含鹵素的有害污染物,例如氯、碘、氟化氫、氯化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、四氯化硅、四氯化鈦、三氯化鋁、四氟化鎢.

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